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    技術文章
    常用氦質譜檢漏方法

    一,噴氦法
    被檢件與氦質譜檢漏儀相連,用檢漏儀的真空系統對被檢件的腔體抽真空,在被檢件外噴氦氣,若有漏孔,氦氣通過漏孔進入檢漏儀被檢測而顯示有漏。由于檢漏儀的響應很快(一般短于3秒),在漏率顯示突然增高的一刻的噴氦位置就是漏孔的位置。

    大容積試件的抽空檢漏
    被檢試件的容積較小時,可以直接連到檢漏儀,抽空檢漏。但是當試件容積太大(100立升以上)時,由于表面積大,放氣多,也可能有大漏,單靠檢漏儀自身的排氣系統,可能長時間抽不到可以轉入檢漏的真空。這種情況,常外接一輔助真空系統。

    二,背壓法
    所謂背壓法,是指被檢試件充滿氦氣,或以某種方式注入氦氣,然后放入一個與檢漏儀相連,可抽空的真空箱內,試件若有泄漏,漏出的氦氣直接進入檢漏儀,而被檢測。被壓法檢測的是總漏率,它不能確定漏孔位置。

    三,吸入法
    被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦,檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體采集器。當試件有漏時,泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀,而被檢測。吸槍在試件表面移動,同時注視檢漏儀漏率指示的變化,一旦泄漏增加,吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

    四,真空箱法
    真空箱用不銹鋼制作,內表面有高的光潔度,可減少氦吸附。真空箱檢漏法特別試用于被檢試件內部結構復雜、放氣量大、試件批量大、漏率要求嚴格和檢漏節拍快等場合(如制冷壓縮機、閥、歧管等),是工業規模生產最常用的檢漏方法。

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